コンパクトデザインに注目

欠陥検出用ヘッドは、１測定面について、わずかに３００ｍｍ×１２０ｍｍ×１５０ｍｍ、光源及び受光素子を組み込んでいます。（電源ユニットは別置）

検査部の占有する床面積は３００ｍｍ×５２５ｍｍ、このサイズでディスクの両面同時検査に対応しています。オプションにてチルト角の測定機能も追加出来ます。

多機能検査に注目

検査項目は多彩です。従来の片面検査に加え、注目のマルチメディアに対応すべく、 両面同時検査も標準で装備しました。また、オプションにて半径位置３６ｍｍ〜６０ｍｍの範囲の１半径位置で、ディスクのチルト角（ラジアル、タンジェンシャル各方向）の測定も行います。（測定は片面のみ）加えて、チルト角測定と同位置の反射率も測定します。

フレキシビリティーに注目

検査速度と、検査分解能を１６段階で可変可能です。検査速度を優先させる場合は、最外周での円周方向分解能を５４μｍに設定することで検査時間は１．３秒／１ディスクになります。又、測定精度を優先させる場合は、最外周での円周方向の分解能を18μmに設定、検査時間は２．７秒／１ディスクになります。現場のニーズに合わせて、この間で１６段階の設定が可能です。